实验站
1.实验站配置
分析腔:配备六自由度样品架,VG R4000能量分析器,单色化的X光枪,真空度可达7×10-11Torr;
制备腔:配备五自由度样品架,QCM,LEED,质谱和各种高温蒸发源炉用来沉积各种金属,真空度1×10-10Torr;
MBE腔:配备多个低温蒸发源炉用来沉积各种有机分子,真空度可达5×10−10Torr;
超高真空转移腔:结合NEXTorr D200-5吸附泵,无需UPS电源,可长时间维持5´10-10mbar真空度;
手套箱:泄露率 < 0.001vol%h; H2O < 1ppm, O2 < 1ppm。
2.实验站性能
真空度:分析腔7×10-11Torr,制备腔1×10-10Torr,MBE腔5×10−10Torr
温度:90K~1500 K
原位条件:可以原位沉积各种金属及有机分子,原位样品升降温度
3.实验方法
NEXAFS(近边X射线吸收精细结构)
HR-SRPES(高分辨同步辐射光电子能谱)
HR-UPS(高分辨紫外光电子能谱)
HR-XPS(高分辨X射线光电子能谱)
LEED(低能电子衍射)
TPD(程序升温脱附)
4.样品要求
UHV兼容性,样品稳定、不分解、无挥发性
样品无放射性、无剧毒性、无强磁性
导电性好
薄膜/粉末/单晶…