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刘颖
副研究员电子邮箱:liuychch@ustc.edu.cn研究方向:X射线光学元件,极紫外光刻掩模与多层膜相关技术、同步辐射衍射光学元件、微纳结构的全息与离子束制作技术、自组织纳米结构与极紫外光刻 -
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