为了保持光束的高品质（高通量、高空间分辨、高光谱分辨和高相干性），对光束线光学元件面形误差要求达到50-100 nrad的水平，这已经是目前世界上光学加工的极限能力。为了检测光学元件质量，保证光束线的整体性能，建立光学元件的在线和离线检测仪器是必不可少的。
在预研项目中提出了研制一台高精度长行程面形检测仪。该项目通过与北京高能物理所合作进行。目前项目进展顺利，仪器在6小时内静态稳定性测试指标优于40 nrad (rms)，满足设计指标要求。正在进行系统的动态指标测试和验收准备工作。
在已有同步辐射光栅研制的基础上，通过技术及工艺改进，目前光栅周期一致性
1×10-5 rms提升到4×10-6 rms，性能正在进一步优化提升。
图2 光栅研制阶段性成果
