“超高真空技术”作为合肥先进光源预研工程的关键技术之一，对合肥先进光源的建设具有重要意义。良好的超高真空环境是电子束团稳定运行的必要条件，因此如何在衍射极限储存环的小孔径真空室中获得稳定均匀的真空环境是HALF预研工程中的重要技术研究项目之一。参照国际先进装置的技术方案，并经过前期专家评审，小孔径真空管内壁NEG（非蒸散吸气）镀膜室是解决此问题的关键技术。
2019年12月，合肥先进光源预研工程加速器总体真空系统NEG镀膜技术取得了重要进展。使用自行建立的磁控溅射镀膜装置，在直径22毫米的银铜真空管内部实现了均匀、稳定的NEG膜层。镀膜后真空管NEG膜层经170℃激活后，其真空管（1.5米长）端部测量真空度达到好于2×10-8Pa（规管：Leybold IE514），达到了超高真空技术研究中真空管道的极限真空验收指标。
镀膜系统 镀膜中
NEG镀膜管真空测试 真空管远端真空度
