NEG（锆钒钛合金）吸气膜具有优良的真空性能，其较低的同步光解析系数和优良抽气能力，可有效改善长直线段真空室的动态气压分布，提高束流真空寿命，是国内外加速器粒子储存环真空室表面处理的研究热点，也是下一代加速器真空室表面处理的有效手段。由于其技术和工艺的复杂性，目前国内未见研究报道，国际上也仅仅是少数先进国家的第三代加速器实验室用于真空室内表面处理。
近日，国家同步辐射实验室王勇课题组在国内率先建成3000mm磁控溅射镀膜装置，成功在3000mm长波荡器的真空室上溅射沉积了2000nmNEG吸气膜，有效抑制和减少真空室材料的二次电子产额，避免储存环中由二次电子造成的束流损失。
该装置的建成和成功应用标志着我国在新一代加速器真空室表面处理研究方面迈出了重要的一步，达到国际相关领域研究的一流水平。
